Tungku deposisi uap multi-stasiun yang memuat dasar digunakan untuk deposisi uap CVD dari berbagai jenis karbon pirolitik, karbon pirolitik, bahan komposit karbon/karbon, bahan berbasis karbon, keramik suhu ultra-tinggi sebagai substrat, serta berbagai logam dan dan logam dan dan keramik ultra-tinggi sebagai substrat, serta berbagai logam dan dan logam dan dan berbagai logam dan dan dan logam dan dan logam dan dan dan keramik ultra-tinggi sebagai substrat, serta berbagai logam dan dan berbagai logam dan dan dan banyak logam dan dan dan logam dan dan logam dan dan logam dan dan logam dan dan dan keramik ultra-tinggi sebagai substrat, serta berbagai logam dan dan berbagai logam dan dan berbagai log dan Substrat grafit dilapisi graphene dalam tungku deposisi uap kimia CVD.
Karakteristik Produk Tungku Listrik Industri
- Presisi tinggi kontrol suhu, ± 0,1 ℃, setelah 3 jam pelestarian panas, cincin pengukuran suhu 12 titik pengukuran suhu, keseragaman suhu <± 3 ℃.
- Suhu kerja sistem adalah 25-1250 derajat Celcius, dan desainnya tiup untuk mempertimbangkan lingkungan kerja CVD, dan dapat bekerja secara stabil untuk waktu yang lama.
-Sistem ini dilengkapi dengan perlindungan sempurna, tegangan berlebihan, over-current, kerusakan sirkuit air, ketidakseimbangan tiga fase, suhu air, alarm kebocoran gas yang mudah terbakar.
- Dapat dilengkapi dengan platform kerja rotasi seragam multi-saluran
-Sirkuit gas mengatur multi-arah dan berbagai metode kontrol meter aliran massa, katup jarum manual, perangkat input pencampuran gas multi-arah.
- Laju aliran gas, laju aliran dapat dikontrol untuk mendukung anemometer genggam
- Lebih sedikit penganut volatil di tungku
- Efisiensi pengumpulan kolektor kondensasi lebih dari 90%
Parameter produk
Showcase produk